1 | Presiune max.de lucru 20,6 Mpa. |
2 | Max.temperatura de lucru 204 ℃ (mediu cu temperatură ridicată până la 454 ℃, în acest moment materialul de etanșare este înlocuit cu grafit expandat) |
3 | Sistem de filtrare Sunt aplicabile particulele poluante, gaze, lichide. |
4 | Filtru sinterizat pentru metalurgia pulberilor din oțel inoxidabil, precizie 2μm ~ 40μm |
5 | Debitul filtrului 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filtrul poate fi schimbat. |
Caracteristicile produsului Filter
1 | Gamă largă de aplicații, interval de debit de la 15 la 300SL/min. |
2 | Are o compatibilitate bună cu majoritatea gazelor de proces semiconductoare de înaltă puritate. |
3 | Capacitatea de filtrare cu 3 nanoparticule menține eficiența ridicată a debitului și căderea de presiune ultra-mică. |
4 | Suprafața electrolustruită 5Ra poate preveni poluarea internă. |
5 | Coaceți cu azot fierbinte după apă deionizată pentru a îndeplini standardele procesului de semiconductor. |
6 | Mediu de fabricație, curățare și ambalare în atelier aseptic fără praf de 1000 de niveluri. |
7 | Testați pentru scurgeri de heliu 100%. |
Admisie | Priză | |
1 | Racord pentru tub de 1/8 inch | Racord pentru tub de 1/8 inch |
2 | Racord pentru tub de 1/4″ | Racord pentru tub de 1/4″ |
3 | Racord pentru tub de 3/8″ | Racord pentru tub de 3/8″ |
4 | Racord pentru tub de 1/2 inch | Racord pentru tub de 1/2 inch |
5 | Racord pentru tub de 6MM | Racord pentru tub de 6MM |
6 | Racord pentru tub de 8MM | Racord pentru tub de 8MM |
7 | Racord pentru tub de 10 mm | Racord pentru tub de 10 mm |
8 | Racord pentru tub de 12 mm | Racord pentru tub de 12 mm |
9 | 1/8″ mamă NPT | 1/8″ mamă NPT |
10 | 1/4″ mamă NPT | 1/4″ mamă NPT |
11 | 1/4″ Mascul NPT | 1/4″ Mascul NPT |
12 | 3/8″ Mascul NPT | 3/8″ Mascul NPT |
13 | 1/2″ Mascul NPT | 1/2″ Mascul NPT |
Parametrii de performanță ai filtrului
1 | Precizia de filtrare | ≥0,0025μm | |
2 | Eficienta de filtrare | Rata de îndepărtare99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Debitul nominal | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | Compoziția filtrului | element de filtrare | 316L/PTFE |
9 | locuințe | otel inoxidabil 316L | |
10 | Conditii de munca | Presiune maximă de admisie | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Presiune diferențială maximă | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Temperatura maxima de functionare | 430℃ (gaz inert) | |
13 | Rata de scurgere a heliului | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Finisaj de suprafață | ≤Ra 5μin |