Echipamentele de tratare a gazelor de coadă pot gestiona gazele utilizate în procesele de gravare și procesele de depunere a vaporilor chimici în industriile semiconductor, cristal lichid și energie solară, inclusiv SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O și așa pornit.
Metoda de tratare a gazelor de eșapament
Conform caracteristicilor tratamentului cu gaze de evacuare, tratamentul poate fi împărțit în patru tipuri de tratament:
1. Tipul de spălare a apei (tratarea gazelor corozive)
2. Tip oxidant (care se ocupă de gaze combustibile și toxice)
3. Adsorbția (în funcție de tipul de material de adsorbție pentru a face față gazelor de evacuare corespunzătoare).
4. Tipul de combustie PLASMA (toate tipurile de gaze de evacuare pot fi tratate).
Fiecare tip de tratament are propriile avantaje și dezavantaje, precum și domeniul său de aplicare. Atunci când metoda de tratare este spălarea apei, echipamentul este ieftin și simplu și poate gestiona gazele solubile în apă; Gama de aplicații de tip electric de spălare a apei este mai mare decât cea a tipului de spălare a apei, dar costul de operare este mare; Tipul uscat are o eficiență bună a tratamentului și nu se aplică fluxului de gaz ușor de înfundat sau de curgere.
Produsele chimice și produsele secundare utilizate frecvent în industria semiconductorilor pot fi clasificate în funcție de proprietățile lor chimice și de diferitele lor intervale:
1.. Gaze inflamabile, cum ar fi SIH4H2, etc.
2. Gaze toxice, cum ar fi Ash3, Ph3, etc.
3..
4. Gaze cu efect de seră precum CF4, NF3, etc.
Deoarece cele patru gaze de mai sus sunt dăunătoare pentru mediu sau corpului uman, trebuie să prevină emisiile sale directe în atmosferă, astfel încât instalația generală cu semiconductor este instalată cu un sistem mare de tratare a gazelor de evacuare centralizate, dar acest sistem este doar evacuarea de spălare a apei, astfel încât aplicarea sa este limitată la limitarea la distanța lungă a gazelor solubile în apă și nu poate trata gazul de evacuare. Prin urmare, este necesar să selectăm și să se potrivească echipamentelor de tratare a gazelor de evacuare corespunzătoare în funcție de caracteristicile gazelor derivate din fiecare proces pentru a rezolva problema gazelor de evacuare într -un mod mic. Întrucât zona de lucru este în mare parte departe de sistemul central de tratare a gazelor de evacuare, adesea din cauza caracteristicilor gazelor duc la cristalizare sau acumularea de praf în conductă, ceea ce duce la blocarea conductei care duce la scurgeri de gaze și, în cazuri grave, chiar să provoace o explozie, nu poate asigura că siguranța muncii a personalului site -ului. Prin urmare, în zona de lucru trebuie să configureze un mic echipament de tratare a gazelor de evacuare adecvate pentru caracteristicile gazelor de proces, pentru a reduce gazul de eșapament stagnant din zona de lucru, pentru a asigura siguranța personalului.
Timpul post: 10-20-2023