Utilizarea gazelor în industria semiconductorilor datează de la începutul anilor 1950 până în 1960. În timpul procesului de fabricație a semiconductorilor, gazele sunt utilizate în principal pentru curățarea și protejarea materialelor semiconductoare pentru a le asigura puritatea și calitatea. Printre cele mai utilizate gaze se numără azot și hidrogen.
Pe măsură ce tehnologia semiconductoare a dezvoltat și procesele de fabricație au continuat să se îmbunătățească, cererea de gaze a crescut. În 1970, dezvoltarea ulterioară a tehnologiei de fabricație a semiconductorilor, aplicarea gazelor în procese cheie, cum ar fi gravarea și depunerea de filme subțiri au crescut treptat, iar gazele cu fluor (de exemplu SF6) și oxigenul au devenit frecvent utilizate de gaze de gravură și depunere. 1980 a înregistrat o creștere suplimentară a cererii de gaze odată cu dezvoltarea circuitelor integrate și creșterea cererii pentru acestea. Hidrogenul a fost utilizat pe scară largă în procesul de fabricație, inclusiv recoacerea hidrogenului și depunerea vaporilor de hidrogen. Și din 1990 până în prezent, cererea de gaze de înaltă puritate și gaze specifice a crescut pe măsură ce dimensiunile dispozitivului semiconductor au continuat să se micșoreze și au fost introduse noi procese. De exemplu, aplicarea litografiei ultraviolete extreme (EUV) necesită utilizarea de gaze extrem de înalte, cum ar fi azot și hidrogen.
Gazul semiconductor continuă să crească odată cu dezvoltarea produselor conexe determinate de tot mai multe produse, în timp ce gazul aparține și sursei de pericol, astfel încât produsele utilizate pentru decompresia gazelor, produsele de detectare a gazelor și prevenirea produselor de scurgere a gazelor au apărut, cum ar fi regulatorii de presiune, robinetele de gaz, manometrele de presiune, detectorul de scurgere a gazelor, etc.
Regulatoare de presiune: Regulatorii de presiune sunt dispozitive utilizate pentru a controla presiunea gazelor. De obicei, constau dintr -o supapă de regulator și un senzor de presiune. Regulatoarele de presiune iau o intrare de gaz de înaltă presiune și stabilizează presiunea gazului de ieșire prin reglarea supapei pentru a îndeplini cerințele specifice de aplicare. Regulatoarele de presiune sunt utilizate pe scară largă în domenii precum industria, producția și laboratoarele, precum și în industria semiconductorilor, printre altele, pentru a asigura stabilitatea și siguranța aprovizionării cu gaz.
Supape de gaz: Valvele de gaz sunt utilizate pentru a controla debitul de gaze și pentru a închide pasajele de gaz. De obicei, au o funcție de pornire/oprire care deschide sau închide fluxul de gaz. Există diferite tipuri de supape de gaz, inclusiv supape manuale, supape electrice și valve pneumatice. Sunt utilizate pe scară largă în sistemele de gaze pentru a controla debitul, presiunea și debitul gazelor.
Calibrele de presiune a gazului: Calibrele de presiune a gazului sunt utilizate pentru a măsura nivelul de presiune al unui gaz. De obicei, sunt instalate în locații critice din sistemele de gaze pentru a monitoriza schimbările de presiune și pentru a se asigura că se află în limite sigure. Calibrele de presiune a gazelor sunt utilizate pe scară largă în industrie, producție și laboratoare, iar industria semiconductorilor a fost, de asemenea, implicată.
Detectoarele de scurgere a gazelor: detectoarele de scurgere a gazelor sunt utilizate pentru a detecta scurgerile în sistemele de gaze. Ei detecteazăPrezența scurgerilor de gaz și a unei alarme, astfel încât să poată fi luate măsuri în timp util pentru a preveni accidentele de scurgere. Detectoarele de scurgere a gazelor sunt utilizate pe scară largă în aplicații industriale, chimice, petroliere și gaze, iar industria semiconductorilor a fost, de asemenea, implicată.
Timpul post: 20-2024 februarie