Gazele de puritate ultra-înaltă sunt esențiale în întregul lanț de aprovizionare cu semiconductor. De fapt, pentru un FAB tipic, gazele de înaltă puritate sunt cele mai mari cheltuieli materiale după siliciu în sine. În urma deficienței globale de cipuri, industria se extinde mai repede ca niciodată - iar cererea de gaze de înaltă puritate este în creștere.
Cele mai utilizate gaze în vrac în fabricarea semiconductorilor sunt azotul, heliu, hidrogen și argon.
NItrogeni
Azotul reprezintă 78% din atmosfera noastră și este extrem de abundent. De asemenea, se întâmplă să fie chimic inert și necondiționat. Drept urmare, azotul și-a găsit drumul într-o serie de industrii ca gaz inert eficient din punct de vedere al costurilor.
Industria semiconductorilor este un consumator major de azot. Se preconizează că o fabrică modernă de fabricare a semiconductorilor va utiliza până la 50.000 de metri cubi de azot pe oră. În fabricarea semiconductorilor, azotul acționează ca un scop general care inertează și curăță gazele, protejând napolitane de siliciu sensibile împotriva oxigenului reactiv și a umidității în aer.
Heliu
Heliul este un gaz inert. Acest lucru înseamnă că, la fel ca azotul, heliu este inert chimic - dar are și avantajul suplimentar al conductivității termice ridicate. Acest lucru este util în special în fabricarea semiconductorilor, permițându-i să conducă eficient căldura departe de procesele cu energie mare și să le ajute să le protejeze de deteriorarea termică și reacții chimice nedorite.
Hidrogen
Hidrogenul este utilizat pe scară largă pe întregul proces de fabricație electronică, iar producția de semiconductor nu face excepție. În special, hidrogenul este utilizat pentru:
Recuperare: napolitane de siliciu sunt de obicei încălzite la temperaturi ridicate și răcite lent pentru a repara (anexa) structura cristalului. Hidrogenul este utilizat pentru a transfera căldura uniform în placă și pentru a ajuta la reconstrucția structurii cristalului.
Epitaxie: hidrogenul de puritate ultra-ridicată este utilizat ca agent reducător în depunerea epitaxială a materialelor semiconductoare, cum ar fi siliciu și germaniu.
Depunere: Hidrogenul poate fi dopat în pelicule de siliciu pentru a -și face structura atomică mai dezordonată, contribuind la creșterea rezistivității.
Curățarea plasmatică: Plasma de hidrogen este deosebit de eficientă în eliminarea contaminării de staniu din surse de lumină utilizate în litografia UV.
Argon
Argon este un alt gaz nobil, deci prezintă aceeași reactivitate scăzută ca azot și heliu. Cu toate acestea, energia de ionizare scăzută a Argonului o face utilă în aplicațiile cu semiconductor. Datorită ușurinței sale relative de ionizare, argonul este utilizat în mod obișnuit ca gaz plasmatic primar pentru etch și reacții de depunere la fabricarea semiconductorilor. În plus, argon este utilizat și în laserele excimer pentru litografia UV.
De ce puritatea contează
În mod obișnuit, progresele tehnologiei semiconductoare au fost obținute prin scalarea dimensiunilor, iar noua generație de tehnologie semiconductor se caracterizează prin dimensiuni mai mici ale caracteristicilor. Acest lucru oferă mai multe beneficii: mai multe tranzistoare într -un volum dat, curenți îmbunătățiți, consum de energie mai mică și comutare mai rapidă.
Cu toate acestea, pe măsură ce dimensiunea critică scade, dispozitivele semiconductoare devin din ce în ce mai sofisticate. Într -o lume în care contează poziția atomilor individuali, pragurile de toleranță la erori sunt foarte strânse. Drept urmare, procesele semiconductoare moderne necesită gaze de proces cu cea mai mare puritate posibilă.
WOFLY is a high-tech enterprise specializing in gas application system engineering: electronic special gas system, laboratory gas circuit system, industrial centralized gas supply system, bulk gas (liquid) system, high purity gas and special process gas secondary piping system, chemical delivery system, pure water system to provide a full set of engineering and technical services and ancillary products from the technical consulting, overall planning, system design, selecting the equipment, prefabricated components, the installation and construction of Site -ul proiectului, testarea generală a sistemului, întreținerea și alte produse de susținere într -o manieră integrată.
Timpul post: 11-2023