Tehnologia conductelor de gaz de înaltă puritate este o parte importantă a sistemului de alimentare cu gaz de înaltă puritate, care este tehnologia cheie pentru a furniza gazul de înaltă puritate necesar la punctul de utilizare și pentru a menține în continuare calitatea calificată;Tehnologia conductelor de gaz de înaltă puritate include proiectarea corectă a sistemului, selecția fitingurilor și accesoriilor, construcția și instalarea și testarea.În ultimii ani, cerințele din ce în ce mai stricte privind puritatea și conținutul de impurități ale gazelor de înaltă puritate în producția de produse microelectronice reprezentate de circuite integrate la scară largă au făcut ca tehnologia de conducte a gazelor de înaltă puritate să fie din ce în ce mai preocupată și subliniată.Următoarea este o scurtă prezentare generală a conductelor de gaz de înaltă puritate din selecția materialelorof construcție, precum și recepție și management zilnic.
Tipuri de gaze comune
Clasificarea gazelor comune în industria electronică：
Gaze comune（Gaz în vrac）: hidrogen (H2), azot (N2), oxigen (O2), argon (A2), etc.
Gaze de specialitatesunt SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,ACID CLORHIDRIC,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Tipurile de gaze speciale pot fi în general clasificate ca fiind corozivegaz, toxicgaz, inflamabilgaz, combustibilgaz, inertgaz, etc. Gazele semiconductoare utilizate în mod obișnuit sunt clasificate în general după cum urmează.
(i) Coroziv/toxicgaz: HCI, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…etc.
(ii) Inflamabilitategaz: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO... etc.
(iii) combustibilitateagaz: O2, Cl2, N2O, NF3… etc.
(iv) inertgaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, El...etc.
Multe gaze semiconductoare sunt dăunătoare corpului uman.În special, unele dintre aceste gaze, cum ar fi SiH4 ardere spontană, atâta timp cât o scurgere va reacționa violent cu oxigenul din aer și va începe să ardă;și AsH3foarte toxic, orice scurgere ușoară poate provoca riscul vieții umane, din cauza acestor pericole evidente, astfel încât cerințele pentru siguranța proiectării sistemului sunt deosebit de ridicate.
Domeniul de aplicare al gazelor
Ca materie primă de bază importantă a industriei moderne, produsele gazoase sunt utilizate pe scară largă, iar un număr mare de gaze comune sau gaze speciale sunt utilizate în metalurgie, oțel, petrol, industria chimică, mașini, electronice, sticlă, ceramică, materiale de construcții, construcții , prelucrarea alimentelor, medicina si sectoarele medicale.Aplicarea gazului are un impact important asupra tehnologiei înalte a acestor câmpuri, în special, și este materia primă indispensabilă a acestuia gaz sau gaz de proces.Doar cu nevoile și promovarea diferitelor sectoare industriale noi și a științei și tehnologiei moderne, produsele din industria gazelor pot fi dezvoltate cu pasi în ce privește varietatea, calitatea și cantitatea.
Aplicarea gazelor în industria microelectronică și semiconductoare
Utilizarea gazului a jucat întotdeauna un rol important în procesul de semiconductor, în special procesul de semiconductor a fost utilizat pe scară largă în diverse industrii, de la ULSI tradițional, TFT-LCD până la industria actuală micro-electro-mecanică (MEMS), toate care folosesc așa-numitul proces semiconductor ca proces de fabricație a produselor.Puritatea gazului are un impact decisiv asupra performanței componentelor și a randamentului produsului, iar siguranța aprovizionării cu gaz este legată de sănătatea personalului și de siguranța operațiunilor instalației.
Semnificația conductelor de înaltă puritate în transportul gazelor de înaltă puritate
În procesul de topire și fabricare a materialului din oțel inoxidabil, aproximativ 200 g de gaz pot fi absorbite pe tonă.După prelucrarea oțelului inoxidabil, nu numai suprafața sa lipicioasă cu diverși contaminanți, ci și în rețeaua sa metalică a absorbit și o anumită cantitate de gaz.Când există flux de aer prin conductă, metalul absoarbe această parte a gazului va reintra în fluxul de aer, poluând gazul pur.Când fluxul de aer din tub este un flux discontinuu, tubul adsorbe gazul sub presiune, iar când fluxul de aer nu mai trece, gazul adsorbit de tub formează o cădere de presiune pentru a se dizolva, iar gazul dizolvat intră, de asemenea, în gazul pur în tub. ca impurități.În același timp, adsorbția și rezoluția se repetă, astfel încât metalul de pe suprafața interioară a tubului produce și o anumită cantitate de pulbere, iar aceste particule de praf metalic poluează și gazul pur din interiorul tubului.Această caracteristică a tubului este esențială pentru a asigura puritatea gazului transportat, care necesită nu numai o netezime foarte mare a suprafeței interioare a tubului, ci și o rezistență ridicată la uzură.
Când se utilizează gaz cu performanță corozivă puternică, pentru conducte trebuie utilizate țevi din oțel inoxidabil rezistente la coroziune.În caz contrar, conducta va produce pete de coroziune pe suprafața interioară din cauza coroziunii, iar în cazuri grave, va exista o suprafață mare de decapare a metalului sau chiar perforare, care va contamina gazul pur de distribuit.
Conectarea conductelor de transport și distribuție a gazului de înaltă puritate și curățenie ridicată cu debite mari.
În principiu, toate sunt sudate, iar tuburile folosite trebuie să nu aibă nicio modificare de organizare atunci când se aplică sudarea.Materialele cu un conținut prea mare de carbon sunt supuse permeabilității la aer a pieselor sudate la sudare, ceea ce face pătrunderea reciprocă a gazelor în interiorul și exteriorul conductei și distruge puritatea, uscăciunea și curățenia gazului transmis, având ca rezultat pierderea toate eforturile noastre.
În rezumat, pentru conductele de transport de gaz de înaltă puritate și gaze speciale, este necesar să se utilizeze un tratament special al conductei de oțel inoxidabil de înaltă puritate, pentru a realiza un sistem de conducte de înaltă puritate (inclusiv țevi, fitinguri, supape, VMB, VMP) în distribuția de gaze de înaltă puritate ocupă o misiune vitală.
Concept general de tehnologie curată pentru conductele de transport și distribuție
Transmisia cu corp de gaz extrem de pur și curat cu conducte înseamnă că există anumite cerințe sau controale pentru trei aspecte ale gazului care urmează să fie transportat.
Puritatea gazului: conținutul de atmosferă de impurități în g Puritatea gazului: conținutul de atmosferă de impurități din gaz, de obicei exprimat ca procent din puritatea gazului, cum ar fi 99,9999%, exprimat și ca raport de volum al conținutului de atmosferă de impurități ppm, ppb, ppt.
Uscăciunea: cantitatea de umiditate în urmă din gaz sau cantitatea numită umiditate, exprimată de obicei în termeni de punct de rouă, cum ar fi punctul de rouă la presiunea atmosferică -70.C.
Curățenia: numărul de particule contaminante conținute în gaz, dimensiunea particulelor de µm, câte particule/M3 trebuie exprimat, pentru aer comprimat, de obicei exprimat în termeni de câți mg/m3 de reziduuri solide inevitabile, care acoperă conținutul de ulei .
Clasificarea mărimii poluanților: particulele poluante, se referă în principal la curățarea conductelor, uzura, coroziunea generată de particulele de metal, particulele de funingine atmosferice, precum și microorganismele, fagii și picăturile de condensare a gazelor care conțin umiditate etc., în funcție de dimensiunea particulelor sale. este împărțit în
a) Particule mari – dimensiunea particulelor peste 5μm
b) Particulă – diametrul materialului între 0,1μm-5μm
c) Ultra-microparticule – dimensiunea particulelor mai mică de 0,1 μm.
Pentru a îmbunătăți aplicarea acestei tehnologii, pentru a putea înțelege prin percepție dimensiunea particulelor și unitățile μm, este furnizat un set de stare specifică a particulelor pentru referință.
Următoarea este o comparație a particulelor specifice
| Nume/Dimensiunea particulei (µm) | Nume/Dimensiunea particulei (µm) | Nume/Dimensiunea particulelor (µm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosoli 0,03-1 | Micropicături aerosolizate 1-12 |
| Combustibil nuclear 0,01-0,1 | Vopsea 0,1-6 | Cenușă zburătoare 1-200 |
| Negru de fum 0,01-0,3 | Lapte praf 0,1-10 | Pesticid 5-10 |
| Rășină 0,01-1 | Bacteriile 0,3-30 | Praf de ciment 5-100 |
| Fumul de țigară 0,01-1 | Praf de nisip 0,5-5 | Polenul 10-15 |
| Silicon 0,02-0,1 | Pesticid 0,5-10 | Păr uman 50-120 |
| Sare cristalizată 0,03-0,5 | Praf de sulf concentrat 1-11 | Nisip de mare 100-1200 |
Ora postării: 14-jun-2022