Tehnologia de conducte de gaze de înaltă puritate este o parte importantă a sistemului de alimentare cu gaze de înaltă puritate, care este tehnologia cheie pentru a livra gazul de înaltă puritate necesară până la punctul de utilizare și menține în continuare calitatea calificată; Tehnologia de conducte de gaze de înaltă puritate include proiectarea corectă a sistemului, selecția de accesorii și accesorii, construcții și instalare și testare. În ultimii ani, cerințele din ce în ce mai stricte privind puritatea și conținutul de impuritate a gazelor de înaltă puritate în producerea de produse microelectronice reprezentate de circuitele integrate la scară largă au făcut ca tehnologia de conducte a gazelor de înaltă puritate să fie din ce în ce mai preocupate și accentuate. Următoarea este o scurtă privire de ansamblu asupra conductelor de gaze de înaltă puritate din selecția materialelorof construcție, precum și acceptare și management zilnic.
Tipuri de gaze comune
Clasificarea gazelor comune în industria electronică：
Gaze comune（Gaz în vrac）: hidrogen (h2), azot (n2), oxigen (o2), argon (a2), etc.
Gaze de specialitatesunt sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, SIH2CL2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,Co,C2F6, N2O,F2,Hf,Hbr sf6…… etc.
Tipurile de gaze speciale pot fi clasificate în general ca corozivegaz, toxicgaz, inflamabilgaz, combustibilgaz, inertgazetc. Gazele semiconductoare utilizate frecvent sunt clasificate în general după cum urmează.
(i) coroziv / toxicgaz: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3... etc.
(ii) Inflamabilitategaz: H2, Cap4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,CH3F, CO ... etc.
(iii) combustibilgaz: O2, Cl2, N2O, nf3... etc.
(iv) inertgaz: N2, Cf.4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, Ne, kr, el ... etc.
Multe gaze semiconductoare sunt dăunătoare corpului uman. În special, unele dintre aceste gaze, cum ar fi Sih4 Combustie spontană, atâta timp cât o scurgere va reacționa violent cu oxigenul din aer și va începe să ardă; și Ash3Foarte toxic, orice scurgere ușoară poate provoca riscul vieții umane, este din cauza acestor pericole evidente, astfel încât cerințele pentru siguranța proiectării sistemului sunt deosebit de mari.
Aplicarea domeniului de aplicare a gazelor
Ca materie primă de bază importantă a industriei moderne, produsele cu gaze sunt utilizate pe scară largă și un număr mare de gaze comune sau gaze speciale sunt utilizate în metalurgie, oțel, petrol, industrie chimică, utilaje, electronice, sticlă, ceramică, materiale de construcție, construcții, procesare alimentară, medicamente și sectoare medicale. Aplicarea gazelor are un impact important asupra tehnologiei ridicate în special a acestor câmpuri și este gazul său de materie primă indispensabilă sau gazul de procesare. Numai cu nevoile și promovarea diferitelor sectoare industriale noi și științe și tehnologie modernă, produsele din industria gazelor pot fi dezvoltate în funcție de salturi în ceea ce privește varietatea, calitatea și cantitatea.
Aplicarea gazelor în microelectronică și industria semiconductorilor
Utilizarea gazelor a jucat întotdeauna un rol important în procesul semiconductorului, în special procesul semiconductorului a fost utilizat pe scară largă în diferite industrii, de la tradiționalul ULSI, TFT-LCD până la actualul industrie micro-electro-mecanică (MEMS), toate folosind așa-numitul proces semiconductor ca proces de fabricație al produselor. Puritatea gazului are un impact decisiv asupra performanței componentelor și a randamentelor produsului, iar siguranța aprovizionării cu gaz este legată de sănătatea personalului și de siguranța operațiunilor instalației.
Semnificația conductelor de înaltă puritate în transportul de gaze de înaltă puritate
În procesul de topire și fabricare a oțelului inoxidabil, aproximativ 200 g de gaz pot fi absorbite pe tonă. După prelucrarea oțelului inoxidabil, nu numai suprafața lipicioasă cu diverși contaminanți, dar și în rețeaua sa metalică a absorbit și o anumită cantitate de gaz. Când există un flux de aer prin conductă, metalul absoarbe această parte a gazului va reintra fluxul de aer, poluând gazul pur. Când fluxul de aer din tub este un flux discontinuu, tubul adsorbe gazul sub presiune, iar când fluxul de aer nu mai trece, gazul adsorbit de tub formează o cădere de presiune pentru a se rezolva, iar gazul rezolvat intră, de asemenea, în gazul pur din tub ca impurități. În același timp, adsorbția și rezoluția se repetă, astfel încât metalul de pe suprafața interioară a tubului produce, de asemenea, o anumită cantitate de pulbere, iar aceste particule de praf metalice poluează, de asemenea, gazul pur din interiorul tubului. Această caracteristică a tubului este esențială pentru a asigura puritatea gazului transportat, ceea ce necesită nu numai o netezime foarte mare a suprafeței interioare a tubului, ci și o rezistență ridicată la uzură.
Când se utilizează gazul cu performanțe corozive puternice, trebuie utilizate conducte din oțel inoxidabil rezistente la coroziune pentru conducte. În caz contrar, conducta va produce pete de coroziune pe suprafața interioară din cauza coroziunii, iar în cazuri grave, va exista o suprafață mare de dezbrăcare a metalului sau chiar perforație, care va contamina gazul pur care trebuie distribuit.
Conectarea conductelor de transmitere și distribuție a gazelor de înaltă puritate și de înaltă curățenie a debitului mare.
În principiu, toate sunt sudate, iar tuburile utilizate trebuie să nu aibă nicio schimbare în organizare atunci când se aplică sudare. Materialele cu un conținut prea mare de carbon sunt supuse permeabilității aerului părților sudate atunci când se sudează, ceea ce face ca pătrunderea reciprocă a gazelor în interiorul și în afara conductei și distruge puritatea, uscăciunea și curățenia gazelor transmise, ceea ce duce la pierderea tuturor eforturilor noastre.
În rezumat, pentru gaze de înaltă puritate și conductă specială de transmisie a gazelor, este necesar să se utilizeze un tratament special al conductei din oțel inoxidabil de înaltă puritate, pentru a face sistemul de conducte de înaltă puritate (inclusiv conducte, accesorii, supape, VMB, VMP) în distribuția gazelor de înaltă puritate ocupă o misiune vitală.
Conceptul general de tehnologie curată pentru conducte de transmisie și distribuție
Transmiterea corpului de gaz extrem de pur și curat cu conducte înseamnă că există anumite cerințe sau controale pentru trei aspecte ale gazului care trebuie transportate.
Puritatea gazelor: conținutul atmosferei de impuritate în puritatea GGAS: conținutul atmosferei de impuritate în gaz, de obicei exprimat ca procent de puritate a gazului, cum ar fi 99,9999%, exprimat și ca raport de volum al conținutului de atmosferă de impuritate PPM, PPB, PPT.
Uscăciune: cantitatea de umiditate a urmelor în gaz sau cantitatea numită umezeală, de obicei exprimată în termeni de punct de rouă, cum ar fi punctul de rouă de presiune atmosferică -70. C.
Curățenie: numărul de particule contaminante conținute în gaz, mărimea particulelor de µm, câte particule/m3 pentru a exprima, pentru aer comprimat, de obicei exprimat și în ceea ce privește câte mg/m3 de reziduuri solide inevitabile, care acoperă conținutul de ulei.
Clasificarea mărimii poluantelor: particule de poluanți, se referă în principal la scurgerea, uzura, coroziunea generată de particule de metal, particule de funingine atmosferice, precum și microorganisme, fagi și picături de condensare a gazului care conțin umiditate, etc.
a) Particule mari - dimensiunea particulelor peste 5μm
b) particule-diametrul materialului între 0,1μm-5 μm
C) particule ultra-micro-dimensiunea particulelor mai mică de 0,1 μm.
Pentru a spori aplicarea acestei tehnologii, pentru a putea înțelege perceptiv dimensiunea particulelor și unitățile μm, este prevăzut un set de statut specific de particule pentru referință
Următoarea este o comparație a particulelor specifice
| Numele /dimensiunea particulelor (µm) | Numele /dimensiunea particulelor (µm) | Nume/ dimensiune a particulelor (µm) |
| Virus 0,003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Microdroplet aerosolizat 1-12 |
| Combustibil nuclear 0,01-0.1 | Pictați 0,1-6 | Zboară cenușă 1-200 |
| Negru de carbon 0.01-0.3 | Pulbere de lapte 0,1-10 | Pesticide 5-10 |
| Rășină 0,01-1 | Bacterii 0,3-30 | Praf de ciment 5-100 |
| Fum de țigară 0,01-1 | Praf de nisip 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silicon 0,02-0.1 | Pesticide 0,5-10 | Părul uman 50-120 |
| Sare cristalizată 0,03-0,5 | Praful concentrat de sulf 1-11 | Nisip de mare 100-1200 |
Timpul post: 14-2022 iunie